物理学院实验室基础条件建设采购公告（二次）

项目背景：物理学院已采购等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、刻蚀机及真空蒸发镀膜机，已完成设备安装所需超净间的改造。因设备运行需要Ar、O2、N2、SF6、CF4、He、C4F8、CHF3、N2O、SiH4及NH3等特殊气体，现采购气路安装所需原材料，并进行管道连接，安装调试，核心指标测试，以满足设备所需上述各气体的正常供气。为保证特殊气体管道的安全性和正常使用，输气管道焊接须采用全自动封闭式轨道氩弧焊。冬天室外温度较低，NH3和C4F8管道需要配套伴热保温。气路安装完需要进行保压测试、氦质谱检漏、管道内颗粒检测。项目基本信息项目内容：物理学院特殊气体气路改造，具体包括：敷设高纯气体输送管路，满足设备布局及运行要求，涉及的施工图纸和材料内容见附件（含不锈钢管、阀门、接头、套管、管夹、减压器等）；完成管路耐压测试、检漏及整体调试，确保气路系统稳定可靠；配合设备安装方进行最终联调，满足教学科研实验要求；售后服务期24个月，服务期内每季度无偿提供一次上门维保，涵盖气瓶更换、双套管系统维护及管路系统常规巡检检漏。项目名称：物理学院实验室基础条件建设项目地点：宁夏银川市宁夏大学怀远校区项目建设时间：2026年8月17日-8月30日二、项目预算采购预算金额：人民币贰拾万元整（¥200,000.00）；供应商报价超出预算的，视为无效报价。三、投标人资格要求1.具有独立法人资格，具有有效的营业执照，提供近三年至少完成过两项类似实验室气路改造或洁净室配套工程业绩...